等离子清洗机

存货编码:7141110004
品牌:Yamato/雅马拓
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V1000 1000L/min 1台
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V1000X 1500L/min 1台
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V1000XS 1000&1500L/min 1台
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13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。
特点
  • 硅晶圆的灰化及蚀刻。
  • 基板表面污垢处理。
  • IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
  • 半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
  • 自然氧化膜·有机物去除。
  • 界面活性处理。
  • 表面污染物去除。
  • 2020-2021_P135 V(new).jpg
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相关文献
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